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MM3A納米顯微操作儀的驅(qū)動(dòng)單元

更新時(shí)間:2018-05-03點(diǎn)擊次數(shù):1898
  MM3A納米顯微操作儀以其高精度、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手,改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統(tǒng),直接在樣品室內(nèi)操縱樣品,由此衍生了許多豐富多彩的應(yīng)用,使得對(duì)樣品的研究更深一步。MM3A的移動(dòng)范圍是三維空間的,X、Y軸可作±120°擺動(dòng),Z軸可作12mm的伸長(zhǎng),整個(gè)空間的移動(dòng)范圍達(dá)到100立方厘米。系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)全部由壓電陶瓷來實(shí)現(xiàn),由此保證了Z軸每個(gè)步進(jìn)的精度可達(dá)0.5nm,當(dāng)采用快速移動(dòng)模式時(shí),速度可達(dá)到2mm/s,可以說是同時(shí)兼具了高精度和率,的大行程設(shè)計(jì),使得Z軸總行程可達(dá)到12mm,納米級(jí)的移動(dòng)精度、厘米級(jí)的移動(dòng)范圍是MM3A的zui大特點(diǎn)。
  MM3A納米顯微操作儀特點(diǎn)介紹:
  1.壓電陶瓷納米馬達(dá)
  2.納米級(jí)分辨率
  3.厘米級(jí)移動(dòng)范圍
  4.體積小
  5.無(wú)漂移
  MM3A納米顯微操作儀采用壓電陶瓷技術(shù)(PZT), 提供多種型號(hào)(PCS-5000---PCS5400系列),適用于要求較高的膜片鉗和顯微注射實(shí)驗(yàn):
  *步進(jìn)平穩(wěn),避免了水壓,油壓操作儀不可避免的漂移問題 ,一小時(shí)內(nèi)漂移不超過1微米
  *單軸或三軸微調(diào)控制,在水平和垂直平面可多角度旋轉(zhuǎn),更適合膜片鉗電極的快速更換
  *微調(diào)行程300微米,粗調(diào)行程25mm,zui小控制位移60納米。
  *良好的電學(xué)屏蔽設(shè)計(jì),適于膜片鉗實(shí)驗(yàn)的低噪聲記錄。
  MM3A納米顯微操作儀的驅(qū)動(dòng)單元是由壓電陶瓷構(gòu)成的納米馬達(dá),因此它zui大的特點(diǎn)是能夠進(jìn)行納米級(jí)移動(dòng),在保證納米級(jí)移動(dòng)的同時(shí)其的設(shè)計(jì)可以同時(shí)做到毫米級(jí)的移動(dòng)范圍,整個(gè)操縱裝置全部由納米馬達(dá)驅(qū)動(dòng),從而保證了系統(tǒng)體積非常小,可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內(nèi)。
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